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济南西格马科技/ 发布于2022-10-21 浏览次数：2841
一、按敏感栅制造方法分类有三种
1、 体型半导体应变计，用单晶硅或单晶锗按一定晶轴方向切成拨片，经过掺杂、抛光、光刻等制成。
2、 扩散性半导体应变计，利用固体扩散技术将某种杂质元素扩散到半导体材料上，这样制成扩散型应变计。
3、 薄膜型半导体应变计，与金属薄膜型应变计类似，敏感栅也用真空蒸镀、沉淀方法制成，它由硅、锗等半导体材料形成导电薄膜，基底材料由金属箔、玻璃或陶瓷薄片。
二、 按温度补偿类型分，半岛体应变计可分为灵敏系数补偿型与热输出补偿型，热输出补偿
型又可分为单栅自补偿、双栅半桥自补偿及热敏元件补偿型。
本文关键词： 应变片
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