半导体应变片有哪些类型?

一、按敏感栅制造方法分类有三种

1、 体型半导体应变计，用单晶硅或单晶锗按一定晶轴方向切成拨片，经过掺杂、抛光、光刻等制成。

2、 扩散性半导体应变计，利用固体扩散技术将某种杂质元素扩散到半导体材料上，这样制成扩散型应变计。

3、 薄膜型半导体应变计，与金属薄膜型应变计类似，敏感栅也用真空蒸镀、沉淀方法制成，它由硅、锗等半导体材料形成导电薄膜，基底材料由金属箔、玻璃或陶瓷薄片。

二、 按温度补偿类型分，半岛体应变计可分为灵敏系数补偿型与热输出补偿型，热输出补偿

型又可分为单栅自补偿、双栅半桥自补偿及热敏元件补偿型。

西格马应变片选型指南

本文关键词： 应变片